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Ultrafeine Prüfdrähte mit sechsfacher Leitfähigkeit

Mai 2019 — Mit bis zu sechsfacher Leitfähigkeit und einem um 50 % reduzierten Durchmesser befeuern die neuen Prüfdrähte von Heraeus die Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie. Die ultrafeinen Drähte sind selbst dann einsetzbar, wenn Standarddrähte längst an ihre Grenze stoßen.

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Hersteller von Prüfkarten für die Halbleiter- und Elektronikindustrie benötigen den Draht, um daraus Nadeln für die Prüfung von Wafern zu fertigen. Sie müssen ihre Prüfkarten anpassen, um die Herausforderungen der fortschreitenden Miniaturisierung zu meistern. Schlüsselmerkmale eines guten Prüfdrahts sind elektrische Leitfähigkeit, Härte und eine schlanke Geometrie. Bei der Leitfähigkeit übertreffen die neuen Drähte die am Markt verfügbaren Legierungen: Sie liegt hier bei über 30 % IACS (International Annealed Copper Standard), diejenige konventioneller Drähte bei 5 % bis 14 % IACS. Die Drähte von Heraeus Precious Metals sind elastisch und gleichzeitig mechanisch fest auch bei hohen Temperaturen. So sind sie über viele Belastungszyklen verwendbar. Nach Bedarf setzt der Hersteller unterschiedliche Edelmetalle ein wie Palladium, Platin oder Rhodium, um gerade Drähte auf Spulen oder als Drahtabschnitte herzustellen. 

Die Qualitätskontrolle ist das Herzstück der Halbleiterproduktion. Auf einem Wafer finden sich hunderte Halbleiterchips, von denen jeder einzelne zu 100 % auf Funktionsfähigkeit zu prüfen ist. Wegen der fortschreitenden Miniaturisierung der Transistoren eines Chips und damit der steigenden Zahl von Transistoren pro Chip sind kontinuierlich dünnere Prüfnadeln auf engem Raum notwendig: derzeit bis zu 30 000 auf der Größe einer Briefmarke. Die neuen Heraeus-Drähte sind mit einem Durchmesser unter 20 µm etwa ein Viertel so dick wie ein menschliches Haar und bis zu 50 % feiner als Standarddrähte. 

„Unsere neuen Prüfdrähte geben unseren Kunden vollkommen neue Möglichkeiten für die Qualitätssicherung in der Mikroprozessorherstellung“, sagt André Christl, Präsident von Heraeus Precious Metals. „Neue Chiptechnologien im Mobilfunk – wie jetzt 5G – schaffen bei den Herstellern von Smartphones und Tablets wachsenden Bedarf an leistungsfähigeren, immer kleiner werdenden Chips. An diesem Geschäftspotenzial will Heraeus mit unseren Kunden in Asien, den USA und Europa partizipieren.“ Produkte für die Halbleiter- und Telekommunikations-Industrie herzustellen, erfordert neben der passenden Hardware Präzision, Material- und Prozess-Know-how und vor allem Erfahrung. Seit über 50 Jahren ist Heraeus Vorreiter in der Herstellung von ultrafeinem Draht. Er kommt in Airbags zum Einsatz. Elektrische Schleifkontakte gehören ebenfalls zum Produktportfolio. Für die Halbleiter- und Telekommunikationsindustrie stellt das Unternehmen seit Jahrzehnten hochreines Quarzglas für Lichtleitfasern her.

Heraeus Holding GmbH
Tel.: +49 6181 35-0
www.heraeus.com

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